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洁净搬运机器人
应用场景：可应用于LCD、OLED、Mini/Micro LED等显示行业各类核心工艺制程的基板洁净搬运
产品特点
– 模块化设计
– 标准化接口
– 轻量化设计
– 高洁净度密封设计
– 高速、高精度、洁净搬运
– 多枚基板同时处理，节省Tact Time
核心技术
– 大型基板搬运振动抑制
– 高洁净度密封、净化设计
– 基于位置反馈的变加速控制
– 故障诊断与预测
– 高精度精密加工、组装工艺与检测
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