主要产品
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产品特点
– 可蒸镀基板尺寸200mm*200mm
– Cluster Type
– 标准化
– 模块化
– 成膜均匀性高
– 对位精度高
– 运营稳定
核心技术
– 可满足客户定制需求
– 蒸镀模拟技术
– 温度及压力控制技术
– PID控制技术
– Log分析技术
– 高精密对位补偿算法
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