主要产品
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产品特点
– 适用对象：TFT-LCD、LTPS、OLED
– 可检测缺陷：Gate/Cs/Data open/short/cross short
– 即时在线检测
– 模块化设计，标准化CIM通讯软件
– 多轴高精度运动控制技术
– 完全非接触式检测技术
核心技术
– 完全非接触式检测技术
– 高精度运动控制技术
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