主要产品
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产品特点
– 基板尺寸8英寸和12英寸
– Cluster Type
– 标准化
– 模块化
– 成膜均匀性高
– 光学对位
– 运营稳定
核心技术
– CCD高精密对位技术
– 模块化设计，可以满足客户多样化定制需求
– 高信赖性，可实现长时间稳定稼动生产
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