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安徽省重大科技攻坚计划-晶圆制造大规模高速智能天车系统开发与应用项目通过第一阶段里程碑考核
发布日期:2025-04-16浏览次数:167

         近日,安徽省科技厅组织专家,对由新型显示高端装备安徽省重点实验室(以下简称“重点实验室”)承担的安徽省重大科技攻坚计划项目展开第一阶段里程碑考核。实验室主任刘正勇分别就项目总体执行情况、项目研究内容开展情况、项目成果产出情况、项目管理情况及资金使用情况向与会专家组进行汇报。专家经质询和闭门讨论,一致同意项目第一阶段里程碑考核通过。


         重点实验室承担的“圆制造大规模高速智能天车系统开发与应用项目”是安徽省科技厅2024年公示立项的219个重大项目之一。项目针对被国外垄断的智能天车系统,结合人工智能大数据分析、模态分析与有限元技术,突破安全联锁、高洁净与静电控制、智能全局调度系统、高速低振控制系统等核心技术,通过创新的调度优化、稳定性控制和故障诊断与运维策略等,实现大规模天车智能制造系统的高效运行,大幅提升了系统的响应速度、运行性能、洁净标准和可靠性。通过项目的开展,将有效提升泛半导体产业在天车领域的自主可控,避免技术工艺参数和技术秘密泄露,确保我国在新型显示和半导体芯片领域的核心竞争力,摆脱对国外技术的依赖,保障我国泛半导体产业的长远发展和国家安全。


         2024年,重点实验室主要开展了技术预研,明确了天车系统动态高效调度方法研究、高速天车动态稳定性控制方法研究、大规模天车系统安全性控制方法研究、智能化故障诊断与运维策略、晶圆制造大规模高速智能天车系统开发与应用及实验验证等关键技术点;开展了天车系统智能全局动态高效调度方案设计、高速天车动态稳定性控制方案设计、高洁净生产环境保持与安全性控制方案的制定,气动分析和智能化故障诊断与运维策略框架的研究。


         下一步,重点实验室将继续推动该项目的执行和研发,完成任务既定目标,保障我国泛半导体领域核心装备自主可控。


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